【摘要】采用钯铬合金作为氢敏材料，利用离子束技术制备薄膜式氢气传感器。测试了传感器对0~4%浓度范围氢气的敏感特性，结果显示，传感器对0~4%氢气浓度具有良好的线性输出特性，并表现出较高的响应灵敏度和较好的响应重复性，传感器响应信号相对强度随着温度升高减小，传感器响应时间随着温度升高而减小。